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人们常说，高端光刻机不仅昂贵，而且是国外的。那么什么是光刻机呢？在最后一篇文章中，我们谈到了从原材料到抛光晶片的制造过程。今天我们将讨论什么是光刻术。晶体生长机晶片制造的第一步，我们已经在前一篇文章中讨论过了。今天我们将讨论光刻。让我们简单谈谈硅氧化(热氧化)。稍后我们将讨论蚀刻。硅的氧化它包括分立器件和集成电路制造过程中遇到的四种薄膜:热氧化薄膜、介电薄膜、多晶硅薄膜和金属薄膜。在图中，栅极氧化物层和场氧化物层都是通过热氧化产生的，因为只有热氧化可以提供具有最低界面陷阱密度的高质量氧化物层。